SUPER TECH ST系列質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品概述
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SUPER TECH ST系列質(zhì)量流量控制器是新一代工業(yè)微機(jī)電的產(chǎn)品,采用基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的流量傳感器,適用于廣泛的氣體流量精密測量領(lǐng)域。
ST系列量程覆蓋范圍10sccm-20slpm(氮?dú)獾刃В?,控制范圍?%滿量程到100%滿量程。
提供Modbus-RTU(基于RS232或RS485)數(shù)字信號或模擬信號(4-20mA或0-5V)通信接口。所需的電源電壓為15-32V。
ST系列緊湊設(shè)計(jì)只有68mm的長度和80mm的高度,高度是傳統(tǒng)產(chǎn)品尺寸的3/5,并且本產(chǎn)品可以在360°
任意角度下安裝使用。
應(yīng)用及案例
● 氣相色譜儀
● 配氣儀
● 真空鍍膜
● 泄漏檢測
● 生物發(fā)酵
● 食品和制藥
● 實(shí)驗(yàn)室等
SUPER TECH ST系列質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)
● 響應(yīng)時間≤600毫秒
● 控制范圍從 1% 到 100% 滿量程
● ±0.8% 設(shè)定點(diǎn)精度
● 溫度和壓力影響不敏感
● 結(jié)構(gòu)緊湊小巧易于安裝
● 良好的重復(fù)性
性能指標(biāo)
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